Kaum fasst die 0,13 Mikron-Technik in den ersten CPU-Produktionsstätten Fuß, schon ist die 0,09 Mikron-Technik am Start. So melden die Chipschmieden ST Mircoelectronics, Philips und TSMC, gemeinsam einen 90 Nanomenter (0,09 Mikron-CMOS)-Fertigungsprozess entwickelt zu haben. Mit dem Verfahren sollen Chip-Strukturen mit 65 Nanometer und weniger erreicht werden. TSMC will nach eigenen Angaben bereits zuverlässig funktionierende 1- und 4-MBit SDRAMs in ersten Tests produziert haben.
Prototypen sind für die zweite Jahreshälfte 2002 geplant. Eine Serienproduktion auf 300 Millimeter-Wafern könnte bereits Ende des Jahres anlaufen.
Aus dem neuen Fertigungsverfahren könnten kleinere Chips mit höherer Leistung und geringerem Stromverbrauch hervorgehen. Demnach benötige ein 0,09-Mikron-Chip etwas über die Hälfte des Platzes wie sein 0,13 Mikron-Kollege. Besonders bei System-on-Chip (SoC)-Lösungen spielt dieser Faktor eine große Rolle. SoC kommen bei DVD-Playern, Set-top-Boxen, GPRS-, UMTS-Handys sowie Digitalvideorekordern zum Einsatz.
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