Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) intensiviert seine Zusammenarbeit mit ASML. Dafür investiert TSMC 1,11 Milliarden Euro in das niederländische Unternehmen, das als einer der wichtigsten Ausstatter für die Halbleiterbranche gilt. Das Geld soll in die Erforschung und Entwicklung zukünftiger Technologien für die Chipfertigung fließen. Im Gegenzug erhalten die Taiwaner einen fünfprozentigen Anteil an ASML.
Wie schon bei einem früheren Abkommen zwischen ASML und Intel steht auch bei der Vereinbarung mit TSMC ASMLs Lithografie-Verfahren „Extreme-Ultra-Violet“ (EUV) sowie die Fertigung von 450-Millimeter-Wafern im Vordergrund. Die von ASML angeboten Maschinen übernehmen einen wichtigen Schritt bei der Fertigung von Computerchips. Diese Technik wird als Fotolithografie bezeichnet. Von deren Weiterentwicklung verspricht sich TSMC Kostenvorteile.
„Eine der größten Herausforderungen bei der Massenfertigung ist die effektive Kontrolle der ausufernden Kosten für die Wafer-Produktion“, wird Shang-yi Chiang, Executive Vice President von TSMC, in einer Pressemeldung zitiert. TSMCs Investition in ASML werde der Branche helfen, die Wafer-Kosten einzuschränken und die „wirtschaftliche Durchführbarkeit des Mooreschen Gesetzes“ zu schützen. Das Mooresche Gesetz besagt, dass sich die Zahl der Transistoren in integrierten Schaltkreisen etwa alle zwei Jahre verdoppelt.
Laut ASML-CEO Eric Meurice werden die neuen Technologien der gesamten Branche und nicht nur den Partnern seines Unternehmens zur Verfügung stehen. Ihm zufolge fließen 276 Millionen Euro von TSMC im Lauf der nächsten fünf Jahre direkt in Forschung und Entwicklung. Die restlichen 838 Millionen Euro würden für den Kauf des 5-Prozent-Anteils fällig.
Intel hatte vor rund einem Monat ein mehrstufiges Forschungsabkommen mit ASML öffentlich gemacht. Insgesamt investiert das Unternehmen 3,3 Milliarden Dollar. 533 Millionen Dollar stehen in einer ersten Phase für den Bau von Herstellungswerkzeugen für 450-Millimeter-Wafer zur Verfügung. Intel hat zudem für 1,7 Milliarden Dollar etwa zehn Prozent der Anteile des Partners erworben. In einer zweiten Phase will Intel die EUV-Forschung mit 276 Millionen Euro unterstützen und für 838 Millionen Euro weitere fünf Prozent an ASML erwerben.
[mit Material von Ryan Huang, ZDNet.com]
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