Komplizierte Luftwäsche für reine Mikroforschung
Komplizierte Luftwäsche für reine Mikroforschung
Doppelte Decke über den Reinräumen: Diese sind von allen Seiten hermetisch abgedichtet und als Bau im Bau konzipiert. (Bild: Arnd Westerdorf)
Doppelte Decke über den Reinräumen: Diese sind von allen Seiten hermetisch abgedichtet und als Bau im Bau konzipiert. (Bild: Arnd Westerdorf)
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